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三腔体真空炉
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210925188.5
申请日：
2022-08-03
公开(公告)号：
CN117558635A
公开(公告)日：
2024-02-13
发明(设计)人：
刘祥坤
申请人：
芯朋半导体科技（如东）有限公司
申请人地址：
226400 江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号泛半导体产业园2号楼5层
IPC主分类号：
H01L21/60
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/67
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
南通市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/60申请日:20220803 |
| 2024-02-13 | 公开 | 公开 |