抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980058928.6

申请日：

2019-09-05

公开(公告)号：

CN112673316B

公开(公告)日：

2024-01-23

发明(设计)人：

中村刚

申请人：

东京应化工业株式会社

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

G03F7/039

IPC分类号：

C08F220/28 C08F224/00

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

陈亦欧;毛立群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-23	授权	授权

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 .

中国专利 :CN112673316A ,2021-04-16

[2]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

[3]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

日本专利 :CN110275395B ,2024-05-17

[4]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

中国专利 :CN114746807A ,2022-07-12

[5]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

中国专利 :CN110275395A ,2019-09-24

[6]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

日本专利 :CN114746807B ,2025-07-08

[7]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118401895A ,2024-07-26

[8]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

大野庆晃 ;

河野绅一 .

中国专利 :CN110673438A ,2020-01-10

[9]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118451370A ,2024-08-06

[10]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

藤崎真史 ;

土屋纯一 ;

远藤浩太朗 .

中国专利 :CN108693703B ,2018-10-23

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