一种含氯硅烷废气的回收装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321981028.9

申请日：

2023-07-26

公开(公告)号：

CN220609762U

公开(公告)日：

2024-03-19

发明(设计)人：

王振程锦钟彭荣金

申请人：

昆山雅鸿环境技术有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山市周市镇陆杨工茂路25号

IPC主分类号：

B01D53/18

IPC分类号：

代理机构：

苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246

代理人：

季栋林

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-19	授权	授权

共 50 条

[1]

氯硅烷分析废气回收处理装置 [P].

李飞明 ;

王立军 .

中国专利 :CN206535403U ,2017-10-03

[2]

一种含氯硅烷废气的回收处理装置 [P].

张旭 .

中国专利 :CN105084369B ,2015-11-25

[3]

一种含氯硅烷废气的处理装置 [P].

闫卫东 ;

贺波 .

中国专利 :CN211246077U ,2020-08-14

[4]

一种氯硅烷废气回收处理装置 [P].

徐志伟 ;

陈春 .

中国专利 :CN222358245U ,2025-01-17

[5]

一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置 [P].

黄强 ;

戴炳慧 ;

端午祥 ;

李孝朋 ;

刘宁云 .

中国专利 :CN217235616U ,2022-08-19

[6]

一种含有硅粉的氯硅烷废气回收设备 [P].

晋正茂 ;

程茂林 ;

马明 ;

张强 .

中国专利 :CN217490290U ,2022-09-27

[7]

硅烷氯硅烷废气处理装置 [P].

徐志伟 ;

陈春 .

中国专利 :CN222641600U ,2025-03-21

[8]

一种氯硅烷废液的净化回收装置 [P].

祁卫华 ;

王丹丹 .

中国专利 :CN210131438U ,2020-03-10

[9]

氯硅烷废液的净化回收装置 [P].

张升学 ;

杨永亮 ;

严大洲 ;

万烨 ;

曾晓国 .

中国专利 :CN204735022U ,2015-11-04

[10]

一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置 [P].

谭德军 .

中国专利 :CN204057978U ,2014-12-31

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