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垂直度调整装置及垂直度调整方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311492450.2
申请日：
2023-11-10
公开(公告)号：
CN117542789A
公开(公告)日：
2024-02-09
发明(设计)人：
李炳然
申请人：
上海御微半导体技术有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
G01C9/00
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
杨杰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20231110 |
| 2024-02-09 | 公开 | 公开 |