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用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410377028.0
申请日：
2023-07-27
公开(公告)号：
CN118028760A
公开(公告)日：
2024-05-14
发明(设计)人：
朱佳敏 高中赫 陈思侃 孙树博 林晓辉 柏培 李鸿 曹森 陈永春 陈晓琦
申请人：
上海超导科技股份有限公司
申请人地址：
201207 上海市浦东新区自由贸易试验区芳春路400号1幢3层301-15室
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
C23C14/24
代理机构：
上海段和段律师事务所 31334
代理人：
黄磊
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-05-14 公开 公开
2024-11-15 授权 授权
2024-05-31 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20230727
共 50 条
[1]
用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整系统 [P]. 
朱佳敏 ;
高中赫 ;
陈思侃 ;
孙树博 ;
林晓辉 ;
柏培 ;
李鸿 ;
曹森 ;
陈永春 ;
陈晓琦 .
中国专利 :CN118028760B ,2024-11-15
[2]
用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置 [P]. 
朱佳敏 ;
孙树博 ;
林晓辉 ;
陈思侃 ;
高中赫 ;
曹森 ;
李鸿 ;
陈永春 ;
陈晓琦 ;
柏培 .
中国专利 :CN118048618A ,2024-05-17
[3]
用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置 [P]. 
朱佳敏 ;
孙树博 ;
林晓辉 ;
陈思侃 ;
高中赫 ;
曹森 ;
李鸿 ;
陈永春 ;
陈晓琦 ;
柏培 .
中国专利 :CN118048618B ,2024-08-30
[4]
用于离子束辅助沉积镀膜装置的镀膜系统 [P]. 
朱佳敏 ;
林晓辉 ;
柏培 ;
陈思侃 ;
高中赫 ;
陈永春 ;
李鸿 ;
曹森 ;
陈晓琦 ;
孙树博 .
中国专利 :CN118086842B ,2024-09-24
[5]
用于离子束辅助沉积镀膜装置的镀膜系统 [P]. 
朱佳敏 ;
林晓辉 ;
柏培 ;
陈思侃 ;
高中赫 ;
陈永春 ;
李鸿 ;
曹森 ;
陈晓琦 ;
孙树博 .
中国专利 :CN118086842A ,2024-05-28
[6]
离子束辅助沉积镀膜装置 [P]. 
朱佳敏 ;
林晓辉 ;
陈思侃 ;
高中赫 ;
孙树博 ;
李鸿 ;
曹森 ;
陈永春 ;
陈晓琦 .
中国专利 :CN118360572B ,2025-03-18
[7]
用于离子束辅助沉积镀膜装置的走带系统 [P]. 
朱佳敏 ;
柏培 ;
高中赫 ;
陈思侃 ;
林晓辉 ;
李鸿 ;
曹森 ;
陈永春 ;
孙树博 ;
陈晓琦 .
中国专利 :CN118028745B ,2025-02-25
[8]
用于离子束辅助沉积镀膜装置的走带系统 [P]. 
朱佳敏 ;
柏培 ;
高中赫 ;
陈思侃 ;
林晓辉 ;
李鸿 ;
曹森 ;
陈永春 ;
孙树博 ;
陈晓琦 .
中国专利 :CN118028745A ,2024-05-14
[9]
用于离子束辅助沉积镀膜装置的冷却系统 [P]. 
朱佳敏 ;
林晓辉 ;
陈思侃 ;
高中赫 ;
孙树博 ;
李鸿 ;
曹森 ;
陈永春 ;
陈晓琦 .
中国专利 :CN118360572A ,2024-07-19
[10]
离子束辅助沉积镀膜装置及镀膜方法 [P]. 
朱佳敏 ;
陈思侃 ;
高中赫 ;
李鸿 ;
曹森 ;
陈永春 ;
陈晓琦 ;
孙树博 ;
林晓辉 ;
柏培 .
中国专利 :CN116904955B ,2024-04-30
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