共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
芯片吸取异常检测装置及检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311309369.6
申请日：
2023-10-11
公开(公告)号：
CN117080127B
公开(公告)日：
2024-01-05
发明(设计)人：
颜萍
戚国强
沈立成
申请人：
江苏快克芯装备科技有限公司
申请人地址：
213000 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路11号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258
代理人：
张秋月
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-05 | 授权 | 授权 |