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致动器、流体控制装置和致动器的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202180022072.4
申请日：
2021-01-12
公开(公告)号：
CN115315320B
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
田中伸拓
申请人：
株式会社村田制作所
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
B06B1/06
IPC分类号：
F04B43/02 H10N30/87 H10N30/20 H10N30/06
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
张丰桥
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-02 授权 授权
共 50 条
[1]
致动器、流体控制装置和致动器的制造方法 [P]. 
田中伸拓 .
中国专利 :CN115315320A ,2022-11-08
[2]
致动器和流体控制装置 [P]. 
川端友德 ;
田中伸拓 .
中国专利 :CN115702291A ,2023-02-14
[3]
致动器控制装置和致动器控制方法 [P]. 
中西大介 .
中国专利 :CN113721675A ,2021-11-30
[4]
致动器控制装置和致动器控制方法 [P]. 
中西大介 .
日本专利 :CN113721675B ,2025-09-09
[5]
致动器和致动器的制造方法 [P]. 
酢谷淳一 ;
中村好伸 .
中国专利 :CN104813571B ,2015-07-29
[6]
致动器控制装置和致动器单元 [P]. 
小川贵之 .
中国专利 :CN107735940A ,2018-02-23
[7]
致动器以及流体控制装置 [P]. 
川端友德 ;
田中伸拓 .
日本专利 :CN114746650B ,2024-06-07
[8]
致动器以及流体控制装置 [P]. 
川端友德 ;
田中伸拓 .
中国专利 :CN114746650A ,2022-07-12
[9]
致动器装置、致动方法和制造方法 [P]. 
J·鲁布 ;
N·P·威拉德 ;
C·P·亨德里克斯 ;
K·J·A·范登阿克 .
中国专利 :CN109790466A ,2019-05-21
[10]
致动器的控制装置、致动器、泵驱动装置及致动器的控制方法 [P]. 
川村敏 ;
波多野健太 .
中国专利 :CN107517597B ,2017-12-26
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