一种氩气回收纯化装置及工艺

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专利类型
发明
申请号
CN202311794762.9
申请日
2023-12-25
公开(公告)号
CN117443192A
公开(公告)日
2024-01-26
发明(设计)人
吴晓涛 林静 王虎 忻俊杰
申请人
安徽华中半导体材料有限公司
申请人地址
239500 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园远大路18号
IPC主分类号
B01D53/90
IPC分类号
C01B23/00 B01D53/46 B01D53/26
代理机构
滁州创科维知识产权代理事务所(普通合伙) 34167
代理人
蒋曼云
法律状态
公开
国省代码
安徽省 滁州市
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共 50 条
[1]
一种氩气回收纯化装置及工艺 [P]. 
吴晓涛 ;
林静 ;
王虎 ;
忻俊杰 .
中国专利 :CN117443192B ,2024-03-15
[2]
一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置 [P]. 
代井平 ;
高志峰 .
中国专利 :CN214653663U ,2021-11-09
[3]
一种氩气纯化装置 [P]. 
金向华 ;
唐璐 ;
张燕 ;
张琦 ;
金小贤 ;
夏致远 ;
孙猛 ;
周珽 .
中国专利 :CN208071323U ,2018-11-09
[4]
一种氩气纯化装置 [P]. 
朱普林 ;
司恒 ;
高用辉 ;
张意如 ;
陶旭 ;
刘元喜 .
中国专利 :CN221207208U ,2024-06-25
[5]
氩气的纯化方法及纯化装置 [P]. 
三宅正训 ;
北岸信之 ;
中谷光利 .
中国专利 :CN102153057A ,2011-08-17
[6]
氩气的纯化方法及纯化装置 [P]. 
山本守彦 ;
中谷光利 ;
岸井充 ;
志摩康一 .
中国专利 :CN103224225B ,2013-07-31
[7]
氩气的纯化方法及纯化装置 [P]. 
中谷光利 ;
北岸信之 ;
坂本纯一 .
中国专利 :CN102730653A ,2012-10-17
[8]
氩气的纯化方法以及氩气的回收纯化装置 [P]. 
黑泽靖志 ;
松嶋秀明 .
中国专利 :CN107428532A ,2017-12-01
[9]
一种氮气、氩气终端纯化装置及纯化方法 [P]. 
郝耀辉 ;
李道峰 ;
刘剑 .
中国专利 :CN113582144A ,2021-11-02
[10]
一种气氛炉氩气回收纯化装置 [P]. 
孙亚洲 .
中国专利 :CN208471536U ,2019-02-05