晶圆抛光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322157272.X

申请日：

2023-08-10

公开(公告)号：

CN220533752U

公开(公告)日：

2024-02-27

发明(设计)人：

朱亮李阳健陈建国王旭东张国阳

申请人：

浙江晶盛机电股份有限公司浙江晶盛创芯半导体设备有限公司

申请人地址：

312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号

IPC主分类号：

B24B7/22

IPC分类号：

B24B57/02 B24B41/02 B24B37/10

代理机构：

杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250

代理人：

蒋豹

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省绍兴市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-27	授权	授权

共 50 条

[1]

钻石晶圆抛光机 [P].

苑执中 ;

温峰城 ;

廖治国 .

中国专利 :CN202336791U ,2012-07-18

[2]

玻璃晶圆抛光机 [P].

蔡星周 ;

王文君 ;

穆俊宏 ;

奉建华 ;

张继华 .

中国专利 :CN211439504U ,2020-09-08

[3]

晶圆抛光机构 [P].

范镜 ;

袁碧华 ;

张得意 ;

张彥志 ;

贺超 ;

卢伟阳 .

中国专利 :CN216781409U ,2022-06-21

[4]

一种晶圆双面抛光机 [P].

郭炳熙 ;

王国超 ;

孙美玉 .

中国专利 :CN218194437U ,2023-01-03

[5]

钻石晶圆抛光机加力装置 [P].

苑执中 ;

温峰城 ;

廖治国 .

中国专利 :CN202399110U ,2012-08-29

[6]

自动外圆抛光机 [P].

李国军 .

中国专利 :CN2736108Y ,2005-10-26

[7]

CMP晶圆抛光机用上片装置 [P].

李国强 .

中国专利 :CN218194514U ,2023-01-03

[8]

丁钢 ;

付瑜 .

中国专利 :CN211078926U ,2020-07-24

[9]

抛光液供给系统及晶圆抛光机 [P].

朱亮 ;

曹建伟 ;

李阳健 ;

陈建国 ;

王旭东 ;

张国阳 .

中国专利 :CN116787331B ,2024-01-09

[10]

圆盖抛光机 [P].

马光华 ;

袁美英 ;

李问弟 ;

陈科 ;

马光南 ;

秦继春 .

中国专利 :CN221020388U ,2024-05-28

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