用于RPD薄膜的氧化钽掺杂氧化锡靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410243188.6

申请日：

2024-03-04

公开(公告)号：

CN118063206A

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

陈杰王诗王海龙孙本双何季麟

申请人：

郑州大学中原关键金属实验室

申请人地址：

450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号

IPC主分类号：

C04B35/457

IPC分类号：

C04B35/622 C23C14/22

代理机构：

北京卫智易创专利代理事务所(普通合伙) 16015

代理人：

朱春野

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-24	公开	公开
2024-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/457申请日:20240304

共 50 条

[1]

利用废靶制备氧化锡钽RPD靶材的方法 [P].

陈杰 ;

王诗 ;

王海龙 ;

孙本双 ;

何季麟 .

中国专利 :CN118344176A ,2024-07-16

[2]

用于RPD薄膜的氧化锡镓陶瓷靶材的制备方法 [P].

陈杰 ;

王诗 ;

王延宇 ;

王海龙 ;

孙本双 ;

何季麟 .

中国专利 :CN118026665A ,2024-05-14

[3]

掺杂镓钬的氧化锡靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

王奇峰 ;

罗斯诗 ;

林世洪 ;

盘君华 .

中国专利 :CN118908720A ,2024-11-08

[4]

低密度氧化镓掺杂氧化锡反应等离子体沉积靶材的制备方法 [P].

陈杰 ;

王诗 ;

王延宇 ;

王海龙 ;

孙本双 ;

何季麟 .

中国专利 :CN118359429A ,2024-07-19

[5]

一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法 [P].

谭洪蕾 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

顾德胜 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN117185779B ,2025-11-28

[6]

一种铈钽锌共掺杂的氧化锡靶材的制备方法 [P].

姚远 ;

张启华 ;

杜宝珩 ;

张莉兰 ;

王屹波 ;

蒋一昌 ;

李娜娜 .

中国专利 :CN120025164A ,2025-05-23

[7]

一种氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材及制备方法 [P].

陈杰 ;

齐超 ;

孙本双 ;

淮志远 ;

何季麟 .

中国专利 :CN112723875B ,2021-04-30

[8]

钽掺杂氧化锡薄膜及其制备方法、光电器件 [P].

李昊臻 ;

陈兴谦 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN120624983A ,2025-09-12

[9]

一种钽掺杂氧化锡透明导电薄膜的制备方法 [P].

张玉勤 ;

蒋业华 ;

周荣 .

中国专利 :CN101260512A ,2008-09-10

[10]

一种掺Nb的含钽氧化锡靶材及其制备方法 [P].

孟将 ;

征卫星 ;

罗文 ;

左宁伟 ;

胡强楠 ;

李正飞 ;

王欢 ;

张子富 ;

张帅 ;

杨龙 ;

马肖 .

中国专利 :CN117247274B ,2025-10-28

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