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薄膜晶体管及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210071104.6
申请日：
2022-01-21
公开(公告)号：
CN116207133B
公开(公告)日：
2024-03-15
发明(设计)人：
罗杰
申请人：
北京超弦存储器研究院
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街52幢5层501-12
IPC主分类号：
H01L29/10
IPC分类号：
H01L29/423
H01L29/786
H01L21/336
代理机构：
北京安信方达知识产权代理有限公司 11262
代理人：
胡艳华;李丹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-15 | 授权 | 授权 |