非接触式的低基板温度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080044820.4

申请日：

2020-05-28

公开(公告)号：

CN114127524B

公开(公告)日：

2024-04-09

发明(设计)人：

金·拉姆库马尔·韦洛尔列昂尼德·M·特蒂特斯特马修·D·斯科特奈伊-卡斯尔

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G01J5/48

IPC分类号：

G01J5/00 G01J5/02 H01L21/67

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

非接触式的低基板温度测量方法 [P].

金·拉姆库马尔·韦洛尔 ;

列昂尼德·M·特蒂特斯特 ;

马修·D·斯科特奈伊-卡斯尔 .

中国专利 :CN114127524A ,2022-03-01

[2]

非接触式温度测量方法 [P].

陈佳鸿 ;

郑仪诚 .

中国专利 :CN103852186B ,2014-06-11

[3]

用于非接触的温度测量的装置和温度测量方法 [P].

S·伦特迈斯特 ;

J-F·埃弗斯-塞内 .

中国专利 :CN204346588U ,2015-05-20

[4]

非接触可伸缩温度测量装置以及温度测量方法 [P].

常同旭 ;

吴启峰 ;

谭云海 ;

周呈劼 ;

饶志文 ;

倪国华 .

中国专利 :CN110068403A ,2019-07-30

[5]

基板温度测量装置及基板温度测量方法 [P].

中原健 ;

川崎雅司 ;

大友明 ;

塚崎敦 .

中国专利 :CN101802574A ,2010-08-11

[6]

基板温度测量装置及基板温度测量方法 [P].

朴永秀 ;

孙侐主 ;

朴商弼 ;

柳守烈 ;

金永镐 ;

金学杜 .

中国专利 :CN111089659A ,2020-05-01

[7]

非接触式电力电压测量方法 [P].

张旭东 ;

李勇 ;

吴宏钢 ;

双涛 ;

许勇 ;

钟鸣 .

中国专利 :CN102636689B ,2012-08-15

[8]

可定距测量的非接触式温度感测装置及其温度测量方法 [P].

戚玉桥 ;

陈炯贤 .

中国专利 :CN102772199A ,2012-11-14

[9]

一种非接触式温度测量装置、灶具及灶具的温度测量方法 [P].

刘明雄 ;

潘叶江 .

中国专利 :CN111426405A ,2020-07-17

[10]

钛合金铣削非接触式测量刀具温度测量方法及装置 [P].

牛赢 ;

焦锋 ;

赵波 ;

王晓博 ;

王晓亮 ;

王东 .

中国专利 :CN108972150A ,2018-12-11

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