具有类金刚石复合膜的结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211187351.9

申请日：

2022-09-28

公开(公告)号：

CN117821972A

公开(公告)日：

2024-04-05

发明(设计)人：

林平波

申请人：

东莞新科技术研究开发有限公司

申请人地址：

523087 广东省东莞市南城区宏远工业区

IPC主分类号：

C23C28/04

IPC分类号：

G06F3/041

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

杨嘉怡

法律状态：

公开

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-05	公开	公开
2025-07-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 28/04申请日:20220928

共 50 条

[1]

类金刚石复合膜的制备方法 [P].

林平波 .

中国专利 :CN117821899A ,2024-04-05

[2]

类金刚石与金刚石复合膜作新型光学增透膜 [P].

夏义本 ;

居建华 ;

史伟民 ;

莫要武 ;

安其霖 ;

王鸿 .

中国专利 :CN1188160A ,1998-07-22

[3]

具有金刚石膜或类金刚石膜的复合散热装置 [P].

刘小利 .

中国专利 :CN209623461U ,2019-11-12

[4]

一种刀具表面类金刚石复合膜 [P].

简明德 ;

王乾廷 ;

刘成武 .

中国专利 :CN109355624A ,2019-02-19

[5]

将爆轰纳米金刚石和类金刚石碳共沉积到衬底上的方法和包含爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的复合膜 [P].

J.埃图拉 ;

A.艾耶 ;

J.科斯金恩 .

中国专利 :CN109563612A ,2019-04-02

[6]

一种利用类金刚石复合膜进行金刚石薄膜平坦化的工艺 [P].

张楷亮 ;

王莎莎 ;

王芳 ;

曲长庆 ;

孙大智 .

中国专利 :CN101935825A ,2011-01-05

[7]

平滑表面金刚石复合膜 [P].

欧内斯特·施尔曼 ;

基兰·库马尔·科维 .

美国专利 :CN120731298A ,2025-09-30

[8]

基于类金刚石薄膜的复合厚膜 [P].

焦飞 ;

钱涛 ;

柏洋 .

中国专利 :CN207313693U ,2018-05-04

[9]

制备类金刚石复合振膜的方法 [P].

张保军 ;

孙滨如 .

中国专利 :CN1031740C ,1994-10-05

[10]

具有类金刚石涂层的材料及其制备方法 [P].

刘庆平 ;

郝志红 .

中国专利 :CN106282935A ,2017-01-04

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