真空炉搬运机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210925404.6

申请日：

2022-08-03

公开(公告)号：

CN117558636A

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

刘祥坤

申请人：

芯朋半导体科技（如东）有限公司

申请人地址：

226400 江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号泛半导体产业园2号楼5层

IPC主分类号：

H01L21/60

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/67

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省南通市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/60申请日:20220803
2024-02-13	公开	公开

共 50 条

[1]

真空炉内搬运装置及真空炉 [P].

左康宇 ;

韦冬 ;

刘建华 .

中国专利 :CN215713194U ,2022-02-01

[2]

真空炉内搬运装置及真空炉 [P].

左康宇 ;

韦冬 ;

刘建华 .

中国专利 :CN113416829A ,2021-09-21

[3]

单腔体真空炉 [P].

刘祥坤 .

中国专利 :CN117558637A ,2024-02-13

[4]

真空炉送料机构 [P].

程革 ;

张天龙 ;

孔德惠 ;

吴冰 ;

张晓宇 ;

于洪斌 ;

李超 ;

王家兴 ;

白世勇 ;

姜源 ;

何晓棠 ;

韩凤 .

中国专利 :CN206648476U ,2017-11-17

[5]

真空炉装置 [P].

陈能强 .

中国专利 :CN215002956U ,2021-12-03

[6]

节能真空炉 [P].

彭小平 .

中国专利 :CN203586756U ,2014-05-07

[7]

送料机构和真空炉 [P].

袁建锋 ;

朱楼飞 .

中国专利 :CN208833003U ,2019-05-07

[8]

刘雷 ;

巩志强 ;

王振波 ;

孟凡志 ;

房佩文 ;

刘昶 ;

张颢腾 .

中国专利 :CN305189951S ,2019-05-31

[9]

郑铁克 .

中国专利 :CN202182618U ,2012-04-04

[10]

袁按稳 ;

王利民 .

中国专利 :CN302790983S ,2014-04-09

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