共 50 条
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扩展方法和扩展装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311455554.6
申请日：
2023-11-02
公开(公告)号：
CN118016542A
公开(公告)日：
2024-05-10
发明(设计)人：
赵金艳
政田孝行
申请人：
株式会社迪思科
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/60
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/683
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-10 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/60申请日:20231102 |