一种真空镀膜夹持机构及真空镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322167034.7

申请日：

2023-08-10

公开(公告)号：

CN220485822U

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

来华杭顾子莺刘杰谢斌斌朱冰冰李建镇

申请人：

杭纳半导体装备（杭州）有限公司

申请人地址：

310000 浙江省杭州市萧山经济技术开发区萧山机器人小镇鸿兴路389号

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C16/458

代理机构：

长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225

代理人：

李谷丰

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-13	授权	授权

共 50 条

[1]

真空镀膜机用气管及真空镀膜机 [P].

钦晔 ;

张毅平 ;

李翔 ;

徐慎豪 ;

沈建强 .

中国专利 :CN214400689U ,2021-10-15

[2]

真空镀膜机加热设备及真空镀膜机 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN210856320U ,2020-06-26

[3]

真空镀膜出气装置及真空镀膜机 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN211112194U ,2020-07-28

[4]

真空镀膜机 [P].

姚飞 ;

钱锋 ;

李丙科 ;

孙丁群 ;

宋银海 .

中国专利 :CN204769364U ,2015-11-18

[5]

真空镀膜机 [P].

段元成 ;

毛祖献 ;

容春华 .

中国专利 :CN205258592U ,2016-05-25

[6]

真空镀膜机 [P].

黄启泰 ;

倪颖 ;

任建锋 ;

王毅 .

中国专利 :CN208151468U ,2018-11-27

[7]

真空镀膜机 [P].

郑维隆 ;

郑裕泡 ;

李初转 ;

金影群 ;

刘中位 .

中国专利 :CN203007387U ,2013-06-19

[8]

真空镀膜机 [P].

陈弘 .

中国专利 :CN205774768U ,2016-12-07

[9]

真空镀膜机 [P].

林建利 .

中国专利 :CN202246835U ,2012-05-30

[10]

真空镀膜机 [P].

王昆 .

中国专利 :CN209456546U ,2019-10-01

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