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MEMS器件及其制备方法、电子设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280001522.6
申请日：
2022-05-27
公开(公告)号：
CN117730050A
公开(公告)日：
2024-03-19
发明(设计)人：
郭景文 刘建兴 赵建昀 李必奇
申请人：
京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
B81B7/02
IPC分类号：
H04R19/04
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
李迎亚;彭瑞欣
法律状态：
公开
国省代码：
海南省 省直辖县级行政区划
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-03-19 公开 公开
2024-04-05 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/02申请日:20220527
共 50 条
[1]
MEMS器件及其制备方法、电子设备 [P]. 
史迎利 ;
王迎姿 ;
李延钊 .
中国专利 :CN117963830A ,2024-05-03
[2]
MEMS芯片及其制备方法、MEMS器件、电子设备 [P]. 
孙丰沛 ;
冯志宏 ;
徐景辉 ;
董晓诗 .
中国专利 :CN114057155B ,2025-07-29
[3]
MEMS芯片及其制备方法、MEMS器件、电子设备 [P]. 
孙丰沛 ;
冯志宏 ;
徐景辉 ;
董晓诗 .
中国专利 :CN114057155A ,2022-02-18
[4]
振膜、MEMS器件及其制备方法和电子设备 [P]. 
戴冬勇 .
中国专利 :CN120499574A ,2025-08-15
[5]
MEMS器件及其制作方法、电子设备 [P]. 
陆霄宇 ;
野村幸治 ;
刘松 ;
姚鑫 ;
中野阳介 .
中国专利 :CN119383540A ,2025-01-28
[6]
MEMS器件及电子设备 [P]. 
邹泉波 .
中国专利 :CN108698813B ,2018-10-23
[7]
MEMS器件和电子设备 [P]. 
周超 ;
史迎利 ;
梁魁 ;
王迎姿 .
中国专利 :CN117945337A ,2024-04-30
[8]
MEMS器件及其形成方法、以及电子设备 [P]. 
徐日 ;
杨国煌 ;
石丹丹 .
中国专利 :CN120793834A ,2025-10-17
[9]
MEMS设备及其制备方法、电子设备 [P]. 
罗松成 ;
詹竣凯 ;
游博丞 ;
谢冠宏 ;
方维伦 .
中国专利 :CN113348145B ,2024-08-20
[10]
MEMS设备及其制备方法、电子设备 [P]. 
罗松成 ;
詹竣凯 ;
游博丞 ;
谢冠宏 ;
方维伦 .
中国专利 :CN113348145A ,2021-09-03
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