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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-31 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):C23C 4/134变更事项:发明人变更前:陈琳 冯晶 张迪 王建坤 张陆洋 蒋翔 颜士肖 孙晓亮 刘驰 许斌变更后:陈琳 颜士肖 冯晶 刘驰 孙晓亮 王建坤 张陆洋 蒋翔 |
| 2024-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 4/134申请日:20231119 |
| 2024-03-15 | 公开 | 公开 |