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一种半导体精密清洗液混合搅拌装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202322247528.6
申请日
:
2023-08-21
公开(公告)号
:
CN220715540U
公开(公告)日
:
2024-04-05
发明(设计)人
:
杨同勇
王成昊
李文瀚
吕栓锁
朱国玉
黄文飞
卢建明
申请人
:
三达奥克化学股份有限公司
申请人地址
:
116085 辽宁省大连市高新技术产业园区龙头分园庆龙街51号
IPC主分类号
:
B01F27/90
IPC分类号
:
B01F27/80
B01F27/192
B01F35/71
B01F101/24
代理机构
:
北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732
代理人
:
周新楣
法律状态
:
授权
国省代码
:
辽宁省 大连市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-04-05
授权
授权
共 50 条
[1]
一种半导体清洗液处理装置
[P].
金炫宇
论文数:
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0
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机构:
嘉际环控(西安)科技有限公司
嘉际环控(西安)科技有限公司
金炫宇
;
张宝宝
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机构:
嘉际环控(西安)科技有限公司
嘉际环控(西安)科技有限公司
张宝宝
;
刘超
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机构:
嘉际环控(西安)科技有限公司
嘉际环控(西安)科技有限公司
刘超
.
中国专利
:CN221940232U
,2024-11-01
[2]
一种半导体清洗液处理装置
[P].
昝庆玲
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机构:
杰慕林微电子(上海)有限公司
杰慕林微电子(上海)有限公司
昝庆玲
;
孙敏
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机构:
杰慕林微电子(上海)有限公司
杰慕林微电子(上海)有限公司
孙敏
.
中国专利
:CN223705329U
,2025-12-23
[3]
清洗液加热搅拌装置
[P].
许静
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许静
.
中国专利
:CN207980940U
,2018-10-19
[4]
半导体清洗液及半导体清洗液的制造方法
[P].
保坂俊辅
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机构:
株式会社德山
株式会社德山
保坂俊辅
;
德永贵史
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机构:
株式会社德山
株式会社德山
德永贵史
;
山下义晶
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机构:
株式会社德山
株式会社德山
山下义晶
.
中国专利
:CN118742996A
,2024-10-01
[5]
一种清洗液加工混合装置
[P].
任华全
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任华全
.
中国专利
:CN217449762U
,2022-09-20
[6]
半导体清洗液供给系统和半导体设备
[P].
屈文晶
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机构:
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
屈文晶
;
沈雪松
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机构:
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
沈雪松
.
中国专利
:CN220371765U
,2024-01-23
[7]
用于抗菌清洗液的混合设备
[P].
杨远祥
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杨远祥
;
韩介强
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韩介强
;
郭涛
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郭涛
;
魏秀齐
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魏秀齐
;
李宝龙
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李宝龙
;
韩雪冰
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韩雪冰
.
中国专利
:CN217341137U
,2022-09-02
[8]
一种清洗液混合导出装置
[P].
祝蕾
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祝蕾
;
朱坤福
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朱坤福
;
朱俊辉
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朱俊辉
.
中国专利
:CN211837661U
,2020-11-03
[9]
一种半导体晶圆片清洗液生成装置
[P].
吴学成
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吴学成
;
徐雪舟
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徐雪舟
;
刘群
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刘群
.
中国专利
:CN202460570U
,2012-10-03
[10]
一种用于半导体的清洗液
[P].
何春阳
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何春阳
;
赵鹏
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赵鹏
;
刘兵
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刘兵
.
中国专利
:CN109976108A
,2019-07-05
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