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等离子体电源反馈电路、反馈方法以及等离子体电源
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311487491.2
申请日：
2023-11-08
公开(公告)号：
CN117526727A
公开(公告)日：
2024-02-06
发明(设计)人：
李绍兵
申请人：
广东省麦思科学仪器创新研究院
申请人地址：
510535 广东省广州市黄埔区新瑞路16号之一1号楼502房1号楼601房
IPC主分类号：
H02M5/10
IPC分类号：
H02M5/293
H02M1/00
H02M1/088
H05H1/26
H01J49/10
代理机构：
广州华享智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44576
代理人：
代春兰;孔德超
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-24 | 授权 | 授权 |
| 2024-02-06 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H02M 5/10申请日:20231108 |