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一种气浮刹车装置、运动装置及气浮刹车装置的控制方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202311551401.1
申请日
:
2023-11-21
公开(公告)号
:
CN117276160B
公开(公告)日
:
2024-02-13
发明(设计)人
:
梁冰
袁嘉欣
申请人
:
上海隐冠半导体技术有限公司
申请人地址
:
201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼
IPC主分类号
:
H01L21/677
IPC分类号
:
代理机构
:
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
:
余明伟
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
上海市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-01-09
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20231121
2024-02-13
授权
授权
共 50 条
[1]
气浮式微球运动装置
[P].
何小珊
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何小珊
;
何智兵
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何智兵
;
刘艳松
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刘艳松
;
许华
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许华
;
陈志梅
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陈志梅
;
李玉红
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李玉红
.
中国专利
:CN104694905A
,2015-06-10
[2]
气浮式微球运动装置
[P].
何小珊
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何小珊
;
何智兵
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何智兵
;
刘艳松
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刘艳松
;
许华
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许华
;
陈志梅
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陈志梅
;
李玉红
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李玉红
.
中国专利
:CN204570031U
,2015-08-19
[3]
一种双层气浮运动装置
[P].
吴火亮
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吴火亮
;
江旭初
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江旭初
;
董亚聪
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董亚聪
;
陈啸虎
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陈啸虎
.
中国专利
:CN216199849U
,2022-04-05
[4]
一种气浮垂向运动装置
[P].
陈啸虎
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陈啸虎
;
江旭初
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江旭初
;
吴火亮
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吴火亮
;
袁嘉欣
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袁嘉欣
;
唐艳文
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唐艳文
;
董亚聪
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0
董亚聪
.
中国专利
:CN214520141U
,2021-10-29
[5]
一种气浮垂向运动装置
[P].
陈啸虎
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陈啸虎
;
江旭初
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江旭初
;
吴火亮
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吴火亮
;
袁嘉欣
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袁嘉欣
;
唐艳文
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唐艳文
;
董亚聪
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董亚聪
.
中国专利
:CN112847285A
,2021-05-28
[6]
运动装置及自动刹车方法
[P].
江昊
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江昊
;
布萊恩·莫瑞
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布萊恩·莫瑞
.
中国专利
:CN104722020A
,2015-06-24
[7]
一种用于晶圆检测的气浮运动装置
[P].
许志彬
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机构:
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
许志彬
;
朱浩
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机构:
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
朱浩
;
林保璋
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机构:
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
林保璋
;
兰海燕
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机构:
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
兰海燕
;
李士昌
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机构:
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
李士昌
.
中国专利
:CN117074739B
,2024-01-30
[8]
基于气浮垫支撑与导向的运动装置
[P].
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机构:
陈智明
;
周清华
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机构:
中国科学院光电技术研究所
中国科学院光电技术研究所
周清华
;
苟鹏
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机构:
中国科学院光电技术研究所
中国科学院光电技术研究所
苟鹏
;
论文数:
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机构:
谷林
.
中国专利
:CN120516642A
,2025-08-22
[9]
一种电磁控刹车机构及运动装置
[P].
张初灯
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张初灯
;
邱永玉
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邱永玉
.
中国专利
:CN215876128U
,2022-02-22
[10]
线性运动刹车及含该线性运动刹车的线性运动装置
[P].
卡尔·W·奥伯尔约翰
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卡尔·W·奥伯尔约翰
.
中国专利
:CN1153650C
,2001-11-28
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