一种气浮刹车装置、运动装置及气浮刹车装置的控制方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311551401.1
申请日
2023-11-21
公开(公告)号
CN117276160B
公开(公告)日
2024-02-13
发明(设计)人
梁冰 袁嘉欣
申请人
上海隐冠半导体技术有限公司
申请人地址
201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼
IPC主分类号
H01L21/677
IPC分类号
代理机构
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
余明伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
上海市
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共 50 条
[1]
气浮式微球运动装置 [P]. 
何小珊 ;
何智兵 ;
刘艳松 ;
许华 ;
陈志梅 ;
李玉红 .
中国专利 :CN104694905A ,2015-06-10
[2]
气浮式微球运动装置 [P]. 
何小珊 ;
何智兵 ;
刘艳松 ;
许华 ;
陈志梅 ;
李玉红 .
中国专利 :CN204570031U ,2015-08-19
[3]
一种双层气浮运动装置 [P]. 
吴火亮 ;
江旭初 ;
董亚聪 ;
陈啸虎 .
中国专利 :CN216199849U ,2022-04-05
[4]
一种气浮垂向运动装置 [P]. 
陈啸虎 ;
江旭初 ;
吴火亮 ;
袁嘉欣 ;
唐艳文 ;
董亚聪 .
中国专利 :CN214520141U ,2021-10-29
[5]
一种气浮垂向运动装置 [P]. 
陈啸虎 ;
江旭初 ;
吴火亮 ;
袁嘉欣 ;
唐艳文 ;
董亚聪 .
中国专利 :CN112847285A ,2021-05-28
[6]
运动装置及自动刹车方法 [P]. 
江昊 ;
布萊恩·莫瑞 .
中国专利 :CN104722020A ,2015-06-24
[7]
一种用于晶圆检测的气浮运动装置 [P]. 
许志彬 ;
朱浩 ;
林保璋 ;
兰海燕 ;
李士昌 .
中国专利 :CN117074739B ,2024-01-30
[8]
基于气浮垫支撑与导向的运动装置 [P]. 
陈智明 ;
周清华 ;
苟鹏 ;
谷林 .
中国专利 :CN120516642A ,2025-08-22
[9]
一种电磁控刹车机构及运动装置 [P]. 
张初灯 ;
邱永玉 .
中国专利 :CN215876128U ,2022-02-22
[10]
线性运动刹车及含该线性运动刹车的线性运动装置 [P]. 
卡尔·W·奥伯尔约翰 .
中国专利 :CN1153650C ,2001-11-28