旋转载料台及晶棒加工系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322308605.4

申请日：

2023-08-25

公开(公告)号：

CN220922922U

公开(公告)日：

2024-05-10

发明(设计)人：

国世光刘克村朱鹏飞

申请人：

青岛高测科技股份有限公司

申请人地址：

266114 山东省青岛市高新区崇盛路66号

IPC主分类号：

B28D5/04

IPC分类号：

B28D7/00 B28D7/04

代理机构：

北京慧智兴达知识产权代理有限公司 11615

代理人：

董雪;刘宝山

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

旋转载料台接水单元、旋转载料台及晶棒加工系统 [P].

赵少锋 ;

国世光 ;

刘克村 ;

徐公志 ;

朱鹏飞 ;

郑哲军 .

中国专利 :CN220784477U ,2024-04-16

[2]

旋转载料台电气单元、旋转载料台及晶棒加工系统 [P].

国世光 ;

赵少锋 ;

刘克村 ;

徐公志 ;

朱鹏飞 .

中国专利 :CN220763123U ,2024-04-12

[3]

载料夹持装置、旋转载料台及晶棒加工系统 [P].

国世光 ;

赵少锋 ;

刘克村 ;

徐公志 ;

朱鹏飞 .

中国专利 :CN220784472U ,2024-04-16

[4]

旋转载料台及其控制方法、晶棒加工系统 [P].

国世光 ;

刘克村 ;

朱鹏飞 .

中国专利 :CN119502157A ,2025-02-25

[5]

晶棒加工系统上下料单元及晶棒加工系统 [P].

赵少锋 ;

国世光 ;

刘克村 ;

朱鹏飞 ;

郑哲军 .

中国专利 :CN220763131U ,2024-04-12

[6]

晶棒转运装置及晶棒加工系统 [P].

赵少锋 ;

国世光 ;

刘克村 ;

徐公志 ;

郑哲军 ;

朱鹏飞 .

中国专利 :CN220763124U ,2024-04-12

[7]

晶棒夹爪组件、晶棒转运装置及晶棒加工系统 [P].

赵少锋 ;

国世光 ;

刘克村 ;

徐公志 ;

朱鹏飞 ;

郑哲军 .

中国专利 :CN220765770U ,2024-04-12

[8]

升降旋转载台 [P].

孙丰 ;

曹镝 .

中国专利 :CN223260553U ,2025-08-22

[9]

带集尘的晶圆吸附旋转载台 [P].

赵裕兴 ;

丁雪健 ;

冯唐忠 .

中国专利 :CN223651391U ,2025-12-09

[10]

旋转载台及光学设备 [P].

刘震 ;

陈楠 ;

彭韬 ;

邹青云 .

中国专利 :CN214604179U ,2021-11-05

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