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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-07 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):C23C 14/56变更事项:发明人变更前:陈麒麟 满小花 葛光星 苏超颖 陈厚膜 王应斌 谭小华 李国庆变更后:陈麒麟 满小花 葛光星 苏超颖 陈厚模 王应斌 谭晓华 李国庆 |
| 2024-04-12 | 公开 | 公开 |
| 2024-04-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20240125 |