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基板处理系统、传送装置、传送臂与传送方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210968423.7
申请日：
2022-08-12
公开(公告)号：
CN117622874A
公开(公告)日：
2024-03-01
发明(设计)人：
王怀庆
闫峥鹏
申请人：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
IPC主分类号：
B65G47/92
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/687
B65G49/07
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B65G 47/92申请日:20220812 |