一种半导体物料搬运系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211052193.6

申请日：

2022-08-30

公开(公告)号：

CN117672931A

公开(公告)日：

2024-03-08

发明(设计)人：

王天昕周毅仲孙俊丽房小飞张梦琦

申请人：

中芯国际集成电路制造（北京）有限公司中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

代理机构：

北京市一法律师事务所 11654

代理人：

刘荣娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20220830
2024-03-08	公开	公开

共 50 条

[1]

一种半导体物料搬运系统 [P].

房小飞 ;

徐有超 ;

周毅仲 ;

孙俊丽 ;

李晓杰 .

:CN221176181U ,2024-06-18

[2]

一种半导体物料搬运系统 [P].

徐有超 ;

周毅仲 ;

孙俊丽 ;

房小飞 ;

李晓杰 .

中国专利 :CN117747511A ,2024-03-22

[3]

一种半导体自动化物料搬运系统 [P].

李翔 ;

周毅仲 ;

孙俊丽 ;

张梦琦 ;

房小飞 .

中国专利 :CN114823442A ,2022-07-29

[4]

立体物料搬运系统及半导体器件加工系统 [P].

王宏玉 ;

文仁浩 ;

郭明 ;

周宇 ;

吕杰 .

中国专利 :CN223501835U ,2025-10-31

[5]

一种半导体自动物料搬运系统布局的生成方法及装置 [P].

李强 ;

程孟璇 ;

徐策 ;

冷芳赫 ;

安利壮 ;

王熙程 ;

赵晓妍 .

中国专利 :CN117724432A ,2024-03-19

[6]

一种半导体自动物料搬运系统布局的生成方法及装置 [P].

李强 ;

程孟璇 ;

徐策 ;

冷芳赫 ;

安利壮 ;

王熙程 ;

赵晓妍 .

中国专利 :CN117724432B ,2024-05-10

[7]

一种物料搬运小车及物料搬运系统 [P].

杨从从 ;

陈峰 ;

兰江松 ;

陈嘉磊 ;

张程 .

中国专利 :CN209226031U ,2019-08-09

[8]

一种物料搬运小车及物料搬运系统 [P].

杨从从 ;

陈峰 ;

兰江松 ;

陈嘉磊 ;

张程 .

中国专利 :CN109455488A ,2019-03-12

[9]

一种物料搬运系统 [P].

闫利阳 ;

鲁星辰 ;

周鹏 .

中国专利 :CN222794444U ,2025-04-25

[10]

一种物料搬运系统 [P].

傅丽伟 ;

左鹏博 ;

洪炳斌 ;

张毅 .

中国专利 :CN208307641U ,2019-01-01

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