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夹持面小的末端执行器及末端执行机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321379765.1
申请日：
2023-06-01
公开(公告)号：
CN220651990U
公开(公告)日：
2024-03-22
发明(设计)人：
郭景华
李彬彬
申请人：
中芯智达半导体科技（上海）有限公司
申请人地址：
201201 上海市浦东新区上丰路633号6幢101室
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
倪静
法律状态：
专利权质押登记、变更及注销
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-10 | 专利权质押登记、变更及注销 | 专利权质押登记IPC(主分类):H01L 21/687登记号:Y2024310001203登记日:20241122出质人:中芯智达半导体科技（上海）有限公司质权人:上海农村商业银行股份有限公司青浦支行实用新型名称:夹持面小的末端执行器及末端执行机构申请日:20230601授权公告日:20240322 |
| 2024-03-22 | 授权 | 授权 |