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非磁性材粒子分散型強磁性材スパッタリングターゲット[ja]
被引：0
申请号：
JP20090532631
申请日：
2009-03-27
公开(公告)号：
JPWO2009119812A1
公开(公告)日：
2011-07-28
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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