プラズマプロセスのイオンエネルギー分析用の装置[ja]

被引:0
申请号
JP20210182564
申请日
2021-11-09
公开(公告)号
JP2022046459A
公开(公告)日
2022-03-23
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H05H1/00
IPC分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 46 条
[2]
酸素含有薄膜の制御された形成のためのプラズマ増強堆積プロセス[ja] [P]. 
JIA LINGYUN ;
VILJAMI J PORE ;
MARKO TUOMINEN ;
KIM SUN JA ;
ORESTE MADIA .
日本专利 :JP2023075174A ,2023-05-30
[4]
プラスチックレンズの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2009025272A1 ,2010-11-25
[8]
摺動式スプライン軸装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019225203A1 ,2021-07-15