プラズマプロセスのイオンエネルギー分析用の装置[ja]
共 46 条
[2]
酸素含有薄膜の制御された形成のためのプラズマ増強堆積プロセス[ja]
[P].
JIA LINGYUN
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机构: ASM IP HOLDING B V
JIA LINGYUN
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VILJAMI J PORE
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机构: ASM IP HOLDING B V
VILJAMI J PORE
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MARKO TUOMINEN
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机构: ASM IP HOLDING B V
MARKO TUOMINEN
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KIM SUN JA
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机构: ASM IP HOLDING B V
KIM SUN JA
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ORESTE MADIA
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机构: ASM IP HOLDING B V
ORESTE MADIA
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日本专利 :JP2023075174A ,2023-05-30