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ナノインプリント用光硬化性組成物、及び光学部品の製造方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20180516912
申请日：
2017-04-19
公开(公告)号：
JPWO2017195548A1
公开(公告)日：
2019-03-14
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C08G59/24
IPC分类号：
H01L21/027
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
ナノインプリント用光硬化性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016194644A1 ,2018-03-15
[2]
ナノインプリント用硬化性組成物、半導体素子及びナノインプリント方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2011125800A1 ,2013-07-11
[3]
インプリント用光硬化性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019142601A1 ,2021-01-28
[4]
インプリント用光硬化性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020129902A1 ,2021-11-04
[5]
インプリント用光硬化性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019082625A1 ,2020-11-26
[6]
インプリント用光硬化性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018155013A1 ,2019-12-12
[7]
インプリント用光硬化性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022092626A ,2022-06-23
[8]
インプリント用光硬化性組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020003863A1 ,2021-08-05
[9]
ナノインプリント用硬化性組成物及び硬化物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2010110121A1 ,2012-09-27
[10]
インプリント用硬化性組成物、インプリント用硬化性組成物の製造方法、硬化物、パターン製造方法および半導体素子の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020066978A1 ,2021-09-02
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