感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜および硬化膜を有する素子[ja]

被引:0
申请号
JP20110535336
申请日
2011-06-02
公开(公告)号
JPWO2011155382A1
公开(公告)日
2013-08-01
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03F7/023
IPC分类号
C08K5/057 C08K5/07 C08K5/28 C08K5/5415 C08L83/06 G03F7/004 G03F7/075 H01L21/027
代理机构
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法律状态
国省代码
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共 50 条
[6]
[8]
感光性着色樹脂組成物およびそれから得られる硬化膜[ja] [P]. 
TOKUDA HIROTO ;
INOUE YOSHIHIKO ;
ODA TAKUO .
日本专利 :JP2024142553A ,2024-10-11
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