スペクトルを用いた干渉計エンコーダ[ja]

被引:0
申请号
JP20170502176
申请日
2015-07-14
公开(公告)号
JP2017522559A
公开(公告)日
2017-08-10
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G01D5/38
IPC分类号
G01B9/02 G01B11/00 G01D5/347
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[2]
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[3]
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[10]