共 50 条
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パターン表面をテンプレートとして用いる材料とその製法[ja]
被引：0
申请号：
JP20040537592
申请日：
2003-09-18
公开(公告)号：
JPWO2004027889A1
公开(公告)日：
2006-01-19
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B32B3/14
IPC分类号：
B32B27/00
B32B27/30
G03F7/00
H01L21/336
H01L29/786
H10K99/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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