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複合酸化物透明導電膜及び透明導電膜付基材[ja]
被引：0
申请号：
JP20170118324
申请日：
2017-06-16
公开(公告)号：
JP6946770B2
公开(公告)日：
2021-10-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/08
IPC分类号：
C23C14/34
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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