学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

選択的なガス注入及び抽出のための装置[ja]

被引：0
申请号：
JP20150539665
申请日：
2013-10-17
公开(公告)号：
JP2016502595A
公开(公告)日：
2016-01-28
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/44 H01L21/02 H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息