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原子層エッチング法用エッチング材料[ja]
被引：0
申请号：
JP20190070273
申请日：
2019-04-02
公开(公告)号：
JP2022090148A
公开(公告)日：
2022-06-17
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/302
IPC分类号：
C23F1/12
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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