共 50 条
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アクチュエータ装置、このアクチュエータ装置用の保護カバー、このアクチュエータの製造方法、このアクチュエータ装置を用いた光偏向装置、二次元光走査装置及びこれを用いた画像投影装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20110186951
申请日：
2011-08-30
公开(公告)号：
JP5842467B2
公开(公告)日：
2016-01-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B81B3/00
IPC分类号：
G02B26/08
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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