酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja]

被引:0
申请号
JP20100529618
申请日
2009-09-14
公开(公告)号
JPWO2010032422A1
公开(公告)日
2012-02-02
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C04B35/00
IPC分类号
C23C14/08 C23C14/34 C23C14/58
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP6582698B2 ,2019-10-02
[2]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017217529A1 ,2019-04-04
[3]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP5759530B2 ,2015-08-05
[4]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP6326560B1 ,2018-05-16
[5]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP6158129B2 ,2017-07-05
[6]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP6307344B2 ,2018-04-04
[7]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018066547A1 ,2018-10-11
[8]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP6231924B2 ,2017-11-15
[9]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP6166207B2 ,2017-07-19
[10]
酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP6885940B2 ,2021-06-16