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高周波電源装置及び高周波電力の出力制御方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20210203970
申请日：
2021-12-16
公开(公告)号：
JP7068540B1
公开(公告)日：
2022-05-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H03F3/217
IPC分类号：
H02M7/48
H03F3/189
H03F3/68
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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