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ゼロパターンローディングのＣＶＤベースのスペーサ堆積[ja]

被引：0
申请号：
JP20210504344
申请日：
2019-07-18
公开(公告)号：
JP2021532591A
公开(公告)日：
2021-11-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
H01L21/31 H01L21/3205 H01L21/768
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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