温度測定装置、温度測定方法、記憶媒体及び熱処理装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20110118372

申请日：

2011-05-26

公开(公告)号：

JP5640894B2

公开(公告)日：

2014-12-17

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/316

IPC分类号：

C23C16/52 G01J5/00 H01L21/31

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法律状态信息

共 50 条

[1]

温度測定装置、温度測定方法、記憶媒体及び熱処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP5630379B2 ,2014-11-26

[2]

温度測定装置、温度測定方法および熱処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP6153749B2 ,2017-06-28

[3]

温度測定方法、温度測定具、及び温度測定装置[ja] [P].

日本专利 :JP6893657B2 ,2021-06-23

[4]

温度測定方法、温度測定具、及び温度測定装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018216179A1 ,2020-05-21

[5]

温度測定方法、温度測定素子及び温度測定装置[ja] [P].

日本专利 :JP7255064B2 ,2023-04-11

[6]

温度測定方法及び温度測定装置[ja] [P].

日本专利 :JP7062339B2 ,2022-05-06

[7]

温度測定装置及び温度測定方法[ja] [P].

SUGIURA MASAHITO ;

MURAKI HIDEYUKI ;

ISHII MASAO ;

MATSUNAGA HISASHI .

日本专利 :JP2025082118A ,2025-05-28

[8]

温度測定装置及び温度測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6922454B2 ,2021-08-18

[9]

温度測定装置及び温度測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7393647B2 ,2023-12-07

[10]

温度測定装置及び温度測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016136844A1 ,2017-12-07

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