金属酸化物膜の製造方法[ja]

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申请号
JP20120519447
申请日
2011-06-08
公开(公告)号
JPWO2011155635A1
公开(公告)日
2013-08-15
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C01B13/14
IPC分类号
C01F7/02 C01F17/212 C01F17/218 C01F17/224 C01F17/229 C01F17/235 C01G27/02
代理机构
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法律状态
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
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[5]
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[8]
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[9]
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[10]
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