共 50 条
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コーティングされたトランスミッタコイルを具備するコーティング装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20190571615
申请日：
2018-07-03
公开(公告)号：
JP2020526917A
公开(公告)日：
2020-08-31
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/31
IPC分类号：
C23C14/50
C23C16/46
C25D7/00
H01L21/205
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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