共 50 条
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微細構造体及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20050506363
申请日：
2004-05-21
公开(公告)号：
JPWO2004103893A1
公开(公告)日：
2006-07-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B82B3/00
IPC分类号：
B01J19/00
B81B1/00
B81C1/00
B82B1/00
C01B31/02
H01L21/3065
H10N30/01
H10N30/082
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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