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マグネシウムビス（ジアルキルアミド）化合物、及び当該マグネシウム化合物を用いるマグネシウム含有薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20120527770
申请日：
2011-08-04
公开(公告)号：
JPWO2012018086A1
公开(公告)日：
2013-10-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F3/02
IPC分类号：
C23C16/40
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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