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マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器[ja]
被引：0
申请号：
JP20130548674
申请日：
2013-05-27
公开(公告)号：
JPWO2014192062A1
公开(公告)日：
2017-02-23
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01P7/06
IPC分类号：
H01L21/3065
H01L21/31
H05H1/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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