フッ素含有界面活性剤を含む膜形成組成物[ja]

被引：0

申请号：

JP20200096896

申请日：

2020-06-03

公开(公告)号：

JP7220175B2

公开(公告)日：

2023-02-09

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G03F7/38

IPC分类号：

G03F7/11 G03F7/26 H01L21/027

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法律状态信息

共 50 条

[1]

フッ素含有界面活性剤を含む膜形成組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015122296A1 ,2017-03-30

[2]

フッ素化界面活性剤含有組成物[ja] [P].

WILLIAM M LAMANNA ;

PATRICIA M SAVU ;

JASON M KEHREN ;

LIPING CLARYN NG ;

IKEGAYA NAMIKO .

日本专利 :JP2022008478A ,2022-01-13

[3]

フッ素化界面活性剤含有組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2017528568A ,2017-09-28

[4]

フッ素系界面活性剤組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7283685B2 ,2023-05-30

[5]

界面活性剤、該界面活性剤を含む組成物、その用途および含フッ素化合物[ja] [P].

日本专利 :JP5931758B2 ,2016-06-08

[6]

界面活性剤、該界面活性剤を含む組成物、その用途および含フッ素化合物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012111741A1 ,2014-07-07

[7]

アミン含有界面活性剤を含むポリッシング加工用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2019525972A ,2019-09-12

[8]

アミン含有界面活性剤を含むポリッシング加工用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7021123B2 ,2022-02-16

[9]

界面活性剤含有組成物[ja] [P].

IKENOUE KUMIKO ;

SAKAMOTO RIE .

日本专利 :JP2024091119A ,2024-07-04

[10]

含フッ素化合物、含フッ素界面活性剤およびその組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011013615A1 ,2013-01-07

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