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保持装置及び保持方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20120014540
申请日
:
2012-01-26
公开(公告)号
:
JP5932365B2
公开(公告)日
:
2016-06-08
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
B65G49/06
IPC分类号
:
B25J15/00
B65H3/08
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
保持装置、及び保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6963776B2
,2021-11-10
[2]
保持装置、及び、保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6045301B2
,2016-12-14
[3]
保持装置、及び、保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6162941B2
,2017-07-12
[4]
保持装置及び保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5959930B2
,2016-08-02
[5]
保持装置及び保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5864808B1
,2016-02-17
[6]
保持具、保持装置及び保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7293679B2
,2023-06-20
[7]
基板保持装置及び基板保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7511144B2
,2024-07-05
[8]
基板保持装置及び基板保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5868228B2
,2016-02-24
[9]
吸着保持装置及び吸着保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2007144982A1
,2009-10-29
[10]
基板保持装置及び基板保持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6317106B2
,2018-04-25
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