触媒酸化物の形成によって生成されたマイクロ電子デバイス分離を含む非プレーナトランジスタ、システム、および非プレーナトランジスタを製造する方法[ja]

被引:0
申请号
JP20170505089
申请日
2014-08-05
公开(公告)号
JP6376574B2
公开(公告)日
2018-08-22
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/02
IPC分类号
B01J21/04 B01J37/02 H01L21/336 H01L27/088 H01L27/12 H01L29/78
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[3]
薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタを製造する方法[ja] [P]. 
TODA TATSUYA .
日本专利 :JP2024099070A ,2024-07-25
[9]
シリコン薄膜トランジスタ及び半導体酸化物薄膜トランジスタを有するディスプレイ[ja] [P]. 
CHANG SHIH CHANG ;
HUNG MING-CHIN ;
YU CHENG-HO ;
CHANG TING-KUO ;
JAMSHIDI-ROUDBARI ABBAS ;
LIN SHANG-CHIH ;
KIM KYUNG-WOOK ;
HUANG CHUN-YAO ;
LEE SZU-HSIEN ;
CHEN YU-CHENG ;
OSAWA HIROSHI ;
PARK YOUNG BAE ;
GUPTA VASUDHA ;
RIN CHIN-WEI ;
CHOI JAE WON ;
TSAI TSUNG-TING .
日本专利 :JP2022023876A ,2022-02-08