微小スイッチおよびそれを用いる電子デバイス[ja]

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申请号
JP20170562925
申请日
2017-01-20
公开(公告)号
JPWO2017126664A1
公开(公告)日
2018-12-27
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/8239
IPC分类号
H01L27/105 H01L51/05 H01L51/30 H10N99/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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