共 50 条
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含フッ素化合物、リビング重合開始剤、含フッ素重合体、含フッ素重合体の製造方法及びレジスト組成物[ja]
被引：0
申请号：
JP20170516187
申请日：
2016-07-14
公开(公告)号：
JP6176426B2
公开(公告)日：
2017-08-09
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C08F283/06
IPC分类号：
C07C69/63
G03F7/004
G03F7/038
G03F7/039
H01L21/027
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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